Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат ... кандидата технических наук: 1.3.8/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск
2023
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01012032577?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
