Ion implantation and ion milling in MBE Hg1-xCdxNe films

Ion implantation and ion milling in MBE Hg1-xCdxNe films

Bibliographic Details
Published in:Nuclear instruments and methods in physics research B Vol. 272. P. 313-317
Corporate Author: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра квантовой электроники и фотоники
Other Authors: Voytsekhovskiy, Alexander V., Grigoryev, Denis V., Mikhailov, Nikolay N., Talipov, Niyaz Kh, Mynbaev, Karim D., Izhnin, Igor I., Fitsych, Olena I.
Format: Article
Language:English
Subjects:
физика полупроводников
ионное травление
ионная имплантация
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000431611
Перейти в каталог НБ ТГУ

Internet

http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000431611
Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items