Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии: учебно-методический комплекс/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Ульяновск:
УлГУ
2006
|
| Series: | Коммерциализация наукоемких продуктов и технологий в сфере нанотехнологий
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НМБ СибГМУ |