Введение в фотолитографию: учебное издание/
| Main Authors: | Боков, Ю. С. Юрий Сергеевич (Author), Корсаков, В. С. Владимир Сергеевич (Author), Лаврищев, В. П. Вадим Петрович (Editor), Лубашевская, А. В. Аврора Васильевна (Author) |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Энергия
1977
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Similar Items
-
Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
by: Пресс, Феликс Павлович
Published: (1978) -
Основы фотолитографии учебное пособие
by: Гудымович, Е. Н.
Published: (2013) -
Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники [учебное пособие для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"]
by: Григорьев Федор Иосифович
Published: (2008) -
Средства программно-аппаратного управления скоростным фотонаборным комплексом для изготовления фотошаблонов печатных плат. Спец.05.13.05-"Элементы и устр. выч. техн. и сист. упр.": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
by: Донцов Геннадий Юрьевич
Published: (1985) -
Creating metal figures in the surface layer of glass
by: Gudymovich, E. N.
