Skip to content
  • Language
    • English
    • Русский

Advanced
  • Search
  • Введение в фотолитографию:...
  • Cite this
  • Print
  • Export Record
    • Export to RefWorks
    • Export to EndNoteWeb
    • Export to EndNote
  • Permanent link
Введение в фотолитографию: учебное издание/

Введение в фотолитографию: учебное издание/

Bibliographic Details
Main Authors: Боков, Ю. С. Юрий Сергеевич (Author), Корсаков, В. С. Владимир Сергеевич (Author), Лаврищев, В. П. Вадим Петрович (Editor), Лубашевская, А. В. Аврора Васильевна (Author)
Format: Book
Published: М.: Энергия 1977
Subjects:
УЧЕБНЫЕ ИЗДАНИЯ
ФОТОРЕЗИСТЫ
ФОТОШАБЛОНЫ
ГОЛОГРАФИЯ
АДГЕЗИЯ
ПОЛИМЕРЫ
РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ЭЛЕКТРОНОРЕЗИСТЫ
ИЗОБРАЖЕНИЯ
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
  • Holdings
  • Description
  • Similar Items
  • Staff View

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

  • Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
    by: Пресс, Феликс Павлович
    Published: (1978)
  • Основы фотолитографии учебное пособие
    by: Гудымович, Е. Н.
    Published: (2013)
  • Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники [учебное пособие для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"]
    by: Григорьев Федор Иосифович
    Published: (2008)
  • Средства программно-аппаратного управления скоростным фотонаборным комплексом для изготовления фотошаблонов печатных плат. Спец.05.13.05-"Элементы и устр. выч. техн. и сист. упр.": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
    by: Донцов Геннадий Юрьевич
    Published: (1985)
  • Адгезионная прочность
    by: Басин, Вячеслав Ефимович
    Published: (1981)
|   Advanced Search   |   Search Tips   |

Большой университет Томска
https://university-tomsk.ru/
Loading...