АНАЛИЗ ПУТЕЙ РАЗВИТИЯ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ: ОБЗОРЫ ПО ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКЕ. СЕРИЯ 7"ТЕХНОЛОГИЯ, ОРГАНИЗАЦИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ"ВЫП. 13(565).

АНАЛИЗ ПУТЕЙ РАЗВИТИЯ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ: ОБЗОРЫ ПО ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКЕ. СЕРИЯ 7"ТЕХНОЛОГИЯ, ОРГАНИЗАЦИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ"ВЫП. 13(565). Ч. 2, Технологический процесс изготовления тонких пленок - основа проектирования УВН(по данным.отеч.и зарубеж.печати за 1967-1977гг.)/С.А. Ашинов, Иван Григорьевич Блинов, Е.А. Деулин; Министерство электронной промышленности СССР

Bibliographic Details
Main Authors: Ашинов, С. А. (Author), Блинов, И. Г. Иван Григорьевич (Author), Деулин, Е. А. (Author)
Corporate Author: Министерство электронной промышленности СССР
Format: Book
Language:Russian
Published: М.: ЦНИИ Электроника 1978
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items