АНАЛИЗ ПУТЕЙ РАЗВИТИЯ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ: ОБЗОРЫ ПО ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКЕ. СЕРИЯ 7"ТЕХНОЛОГИЯ, ОРГАНИЗАЦИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ"ВЫП. 13(565). Ч. 2, Технологический процесс изготовления тонких пленок - основа проектирования УВН(по данным.отеч.и зарубеж.печати за 1967-1977гг.)/С.А. Ашинов, Иван Григорьевич Блинов, Е.А. Деулин; Министерство электронной промышленности СССР

Похожие документы

• Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
  по: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, et al.
  Публикация: (1969)
• Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/
  по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
  Публикация: (1989)
• Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме: учебное пособие/
  по: Красовский, А. М. Анатолий Михайлович, et al.
  Публикация: (1989)
• Исследование процессов вакуумтермического метода нанесения тонких пленок: руководство к лабораторной работе/
  по: Чикин, Е. В. Евгений Владимирович
  Публикация: (2006)
• Влияние нанесения LiF на электрические характеристики тонких пленок пентацена
  по: Терещенко, Евгений Васильевич