Оборудование ионной имплантации: производственно-практическое издание/
| Главные авторы: | , , , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Радио и связь
1988
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 182[2] с.: a-ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 179-181 |
| ISBN: | 5256000071 |