Оборудование ионной имплантации: производственно-практическое издание/

Оборудование ионной имплантации: производственно-практическое издание/

Bibliographic Details
Main Authors: Симонов, В. В. Владимир Валентинович (Author), Корнилов, Л. А. Лев Александрович (Author), Шешелев, А. В. Алексей Васильевич (Author), Шокин, Е. В. Евгений Викторович (Author)
Format: Book
Published: М.: Радио и связь 1988
Subjects:
ионная имплантация
имплантация
обоснование
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:182[2] с.: a-ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 179-181
ISBN:5256000071

Similar Items